真空耙式干燥机就是干燥物料中的自由水，自由水的存在形式可分为间隙水、表面水、毛细水和包裹水。在干燥过程中，一是热源将热能传输给物料，使其升温和使湿分汽化;二是汽化的湿分蒸汽向干燥室空间迁移，使湿分蒸汽脱离物料表面且排出干燥室;三是物料内部的湿分以液态向物料表面迁移，以便于在表面发生汽化。

真空耙式干燥机就是这3个过程相伴且协调地进行，其协调的好与坏，直接影响真空干燥速度及其物料的品质。工件放入真空干燥箱里抽真空是为了抽去工件材质中可以抽去的气体成分。如果先加热工件，气体遇热就会膨胀。由于真空箱的密封性非常好，膨胀气体所产生的巨大压力有可能使观察窗钢化玻璃爆裂。这是一个潜在的危险。真空耙式干燥机按先抽真空再升温加热的程序操作，就可以避免这种危险。加热后的气体被导向真空压力表，真空压力表就会产生温升。如果温升超过了真空压力表规定的使用温度范围，就可能使真空压力表产生示值误差。